1、严格控制无尘车间的设计参数(洁净度和温湿度)及无尘车间面积，特别是高等级单向流无尘车间面积，如十级和百级。由于清洁程度越高，对温湿度精度的要求越高，单位面积的能耗就越大。所以，要实事求是，高就高，低就低。无尘室的面积不要留得太多。特别是高层无尘车间面积大，尽量采用混合流代替低级无尘车间。尽可能减少10级，100级无尘单向流车间的面积。
2、严格控制无尘车间净化送风，监控施工质量，减少洁净室及管道漏风，加强保温，减少冷损失，提高设备效率，利用变频措施以利节能。
3、严格控制新风量，减少排风，采取措施提高排风效果，减少新风空调处理能耗。
4、强化管理。少跑，多冒，少滴，少泄漏。在空调系统中充分利用热能回收和天然能量作为预冷和预热。
